电感耦合等离子体发射光谱仪/质谱仪ICP-OES/MS

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电感耦合等离子体(ICP)是用于原子发射光谱和质谱的主要光源，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统。用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等优点。

ICP-OES：通过接受不同波长的发射光谱来定量分析元素；

ICP-MS：通过四级杆将离子源产生的离子按质荷比（m/z）不同分开，进入检测器计算离子数量以检测元素浓度。